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雙面研磨/拋光機
YJ-16B5L/PE
被加工件最大直徑：φ380mm
機器重量：約4200kg
本機器適用于硅片、石英晶片、寶石片、光學水晶、光學玻璃、鈮酸鋰、陶瓷片、玻璃及其它硬脆材料的雙面精密研磨加工。 The machine is suitable for double-side precision lapping and polishing of silicon wafer, crystal quartz wafer, sapphire wafer, optical crystal, optical glass, lithium niobium acid, ceramic wafer, and other hard and fragile materials.
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產品描述
參數
- 機器采用雙電機驅動，游星輪在上下盤之間做行星運動，工件上下表面同時均勻研磨/ 拋光；
- 盤面操作高度控制在1050mm 以內，增加機器的穩定性，適合操作；
- 內齒圈、太陽輪同步升降并采用點動操作方式；
- 上盤裝置增加機械的安全裝置，在擺片、維修等狀態下不會因突然故障而下降，增加了安全性；
- 可實現游星輪的正、反轉；通過游星輪正轉和反轉，實現盤面的修磨。
| 項目 | 規格 | 項目 | 規格 |
| YJ-16B5PE | YJ-16B5LE | ||
|
上下盤(mm) (內徑x外徑x厚度) |
φ1140xφ375x45 (柱銷齒) |
上下盤(mm) (內徑x外徑x厚度) |
φ1140xφ375x45 (柱銷齒) |
| φ1128xφ362x50 (漸開線齒) | φ1128xφ362x50 (漸開線齒) | ||
| 最小拋光厚度 (mm) | 0.4 | 最小拋光厚度 (mm) | 0.4 |
| 最大拋光厚度 (mm) | 35 | 最大拋光厚度 (mm) | 35 |
| 最大拋光直徑(mm) | φ380 | 最大拋光直徑(mm) | φ380 |
| 安裝游星輪個數 | 5 | 安裝游星輪個數 | 5 |
| 下盤轉速 | 0-50RPM | 下盤轉速 | 0-50RPM |
| 上盤提升氣缸行程 | 450mm | 上盤提升氣缸行程 | 450mm |
| 齒圈抬升行程 | 30mm | 齒圈抬升行程 | 30mm |
| 上盤電機 | 三相 7.5Kw 1450rpm | 上盤電機 | 三相 7.5Kw 1450rpm |
| 下盤電機 | 三相 7.5Kw 1450rpm | 下盤電機 | 三相 7.5Kw 1450rpm |
| 太陽輪電機 | 三相 1.5kw 1450rpm | 太陽輪電機 | 三相 1.5kw 1450rpm |
| 砂泵電機 | 250W | 砂泵電機 | 250W |
| 加壓范圍 | 0-500kg | 加壓范圍 | 0-500kg |
| 工作壓力 | 0.5-0.6Mpa | 工作壓力 | 0.5-0.6Mpa |
| 裝機容量 | 約18KVA | 裝機容量 | 約18KVA |
| 外形尺寸 | 1970x1765x2670 (mm) | 外形尺寸 | 1970x1765x2670 (mm) |
| 設備質量 | 約4200kg | 設備質量 | 約4200kg |
| 設備每平方米重量 | 約1550kg/㎡ | 設備每平方米重量 | 約1550kg/㎡ |
| 設備要求地面承重 | 約1710kg/㎡ | 設備要求地面承重 | 約1710kg/㎡ |
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